iMOXS

透過模組化的 X 射線源 iMOXS (IfG 模組化 X 射線源),便能輕鬆擴充掃描電子顯微鏡 (SEM) 的功能。iMOXS 可使用電子顯微鏡的現有偵測器,只要花很少的費用就能透過特定凸緣與所有現有的 SEM 組合。您可從 SEM 的電子源與額外的 X 射線源選擇,從而利用單一設備對樣本進行 X 射線螢光分析與電子光束微量分析分析。結合這兩者的優點,您可用高解析度來偵測低濃度的元素。

[Translate to Chinese (TW):] iMOXS by IfG

特性:

  • 模組化設計:X 射線管與 X 射線光學元件可依照特定要求輕鬆調整
  • 操作簡單:可透過 SEM 監視器輕鬆調整並檢視測量位置
  • 可透過特定凸緣輕鬆安裝在所有現有的原子力顯微鏡上
  • 適合分析最大 10 µm 的結構:高品質的多毛細 X 射線光學元件可將 X 射線對焦在小測量區域。
  • 表面下方檢查:即使是表面下方深處的材料也能測量

應用:

  • SEM 映射:快速檢視樣本的元素成分;找出 SEM 所看不到的元素
  • 故障分析,材料失效和材料疲勞測試
  • 直接在 SEM 內進行材料分析,例如用來判斷鋁合金中的矽和鋅比例
  • 鑑定分析
  • ppm 級的痕量元素證明
  • 偵測重元素 (Z > 18)

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